Precisionsrengöring

Precisionsrengöring och ytbehandlingBehandling

Vi är specialiserade på att tillhandahålla professionella rengörings- och ytbehandlingslösningar för avancerad processteknologi. Genom att integrera resurser från strategiska partners inom branschen samarbetar vi för att leverera omfattande servicesupport till våra kunder. Våra partners har över 20 års praktisk erfarenhet inom halvledarområdet, med team utrustade med teknisk expertis som täcker ner till 14nm-noden. De kan på ett tillförlitligt sätt tillhandahålla rengörings- och ytbehandlingstjänster för 8-tums och 12-tums waferfabs, som omfattar processer som Physical Vapor Deposition (PVD), Chemical Vapor Deposition (CVD), Etsning och Jonimplantation.

Som en tjänstebrygga utnyttjar vi våra partners mogna kvalitetsledningssystem och lyhörda servicemöjligheter för att hjälpa kunder som tillverkar integrerade kretsar och breda halvledartillverkningar hantera stränga kvalitetskontroll- och processutmaningar, och levererar effektivt och stabilt servicestöd.

Fallstudier för precisionsrengöring

Provtestning efter precisionstvätt, partikelnivån och nivån av metalljonrester på ytan måste uppfylla kraven för den nuvarande 28nm-processen.

Elektrostatisk chuck

Före
Efter

ETCH-komponenter

Före
Efter

Fysisk ångdeposition (PVD)

Före
Efter

Si Elektrod

Före
Efter

Precisionsrengörings- och rekonditioneringsprocess

Inkommande besiktning

Inkommande besiktning

Kontrollera utseende, specifikationer och skador.
Maskering

Maskering

Skydda icke-behandlade områden från korrosion.
Kemisk strippning

Kemisk strippning

Ta bort gamla beläggningar exakt.
Sköljning/blötläggning

Sköljning/blötläggning

Ta bort kemikalierester med rent vatten.
Maskering

Maskering

Skydda områden från sandblästring.
Sandblästring

Sandblästring

Justera parametrarna för att uppnå målråhet.
Dimensionering & besiktning

Dimensionering & besiktning

Mät och korrigera mått för att möta spec.
Termisk sprutning

Termisk sprutning

Applicera slitstarka-beläggningar via Arc eller Plasma.
Högtryckstvätt-

Högtryckstvätt-

Ta bort stora ytpartiklar.
Ultraljudsrengöring

Ultraljudsrengöring

Utför precisionsrengöring för att ta bort fina partiklar.
Renrumstorkning

Renrumstorkning

Torka komponenterna noggrant i en klass 100 renrumsugn.
Slutbesiktning

Slutbesiktning

Genomför omfattande kontroller för att säkerställa efterlevnad.
Förpackning

Förpackning

Vakuumförpackningskomponenter enligt kundens krav.
Fraktrevision

Fraktrevision

Verifiera kvantitet och förpackningsintegritet.
Slutleverans

Slutleverans

Skapa rapporter och leverera.

Serviceförmåga

► 5000m²(55000 kvm) rent verkstadsområde.

► Över 5 0000 stycken/månad behandlingskapacitet.

► 365 dagars kontinuerlig och effektiv service.

► Olika produkter, olika processer.

►8 ledande bearbetningslinje inklusive teknologier för:

Kemisk rengöring/borttagning, Fysisk borttagning
ARC-spray, plasmaspray, beläggning, texturering, dammsugning och förpackning, översyn, etc.

Teknisk förmåga

► Process: 14nm avancerad process

► Serviceomfattning: 4 tum, 6 tum, 12 tum av halvledardelar

► Serviceprocess: PVD/CVD/ETCH/IMPLANTAT/LITHO

► Strikt kvalitetskontroll: Hög-precisionsrengöringsteknik